惯性传感器论文

振动梁电容式硅微加速度计的设计与分析

一、一种振梁电容式硅微加速度计的设计与分析（论文文献综述）王亚洲[1]（2021）在《纳米压电梁谐振式加速度计的设计与仿真》文中研究说明迄今为止,基于MEMS技术的微机械谐振式...