谐振器论文

振动梁电容式硅微加速度计的设计与分析

一、一种振梁电容式硅微加速度计的设计与分析（论文文献综述）王亚洲[1]（2021）在《纳米压电梁谐振式加速度计的设计与仿真》文中研究说明迄今为止,基于MEMS技术的微机械谐振式...
采用热光效应的 9.4 nm 可调谐垂直耦合微环谐振器滤波器

一、9.4nmTunableVerticallyCoupledMicroringResonatorFilterbyThermo-OpticEffect（论文文献综述）许弘楠[1...